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簡便來講，模組紋飾偏差就是所指電子元件浮雕不當阻礙或是脫落，因此誘發造影晶圓之上的的繪圖構型消失不足之處。比方說，即使模塊紅底（Pattern上以再次出現了能這個大點缺角，大家並稱現像「老鼠。
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老鼠咬痕|【60秒深度了解半導體「老鼠咬痕」】#ASML。 - 地主屋 -
